各类混合机的应用和发展

　　各类混合机的应用和发展
　　我国生产真空混合机的厂家很多，全部真空混合机的年销售额大约在1、5亿元左右，仅相当于一家真空混合机的年销售额。通过对全球真空混合机市场的分析我们可以看出，各类真空混合机的市场及应用领域都在不断变化和发展。我国真空混合机制造业有着悠久的历史和雄厚的基础，国产真混合机已经在各个不同领域得到应用并经过验证，有些混合机还出口国外，得到国外用户的认可并受到好评，应该说我国真空混合机制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。

　　1、液环混合机
　　虽然液环混合机属于粗真空混合机，但在我国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。在国外，液环混合机的销售额占全部真空混合机市场的14％，仅次于干混合机，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我国投资建厂或建立销售网络，不断扩大在我国的市场份额。由于液环混合机大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品，所以国产液环混合机在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。

　　2、滑阀混合机
　　由于滑阀混合机比较耐用、可靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀混合机作为前级混合机，但是滑阀混合机铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀混合机能够进入国际市场，必须进一步降低混合机的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提高滑阀混合机长期运行的可靠性。

　　3、直联旋片混合机
　　随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片混合机的需求量越来越大。由于这种混合机数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片混合机在技术上已经过关，价格又远比国外的混合机便宜，所以国产混合机仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空混合机油的性能质量问题，确保直联混合机在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片混合机抽除水蒸气的能力。

　　4、罗茨混合机
　　从国外罗茨混合机生产情况来看，他们各家罗茨混合机的销售额占全球罗茨混合机销售额的比例都没超过5％，这5家总计才20％，罗茨混合机产量不大，但国外罗茨混合机的价格远比国产混合机要高得多。目前，国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨混合机，所以国产罗茨混合机一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场，这样就必须进一步降低国产罗茨混合机的振动噪声，彻底解决轴封漏油问题，改进混合机的外观质量，提高混合机内的光洁度和清洁度。另外，还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz，更要确保罗茨混合机在提高转速的情况下长期运行的可靠性。
　　目前，国内气冷式直排大气罗茨混合机进展很快，技术上已经成熟。由于这种混合机在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回混合机腔以冷却转子，从而使压缩热得平衡，所以这种混合机可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种混合机可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨混合机，所达到的极限真空要比前级混合机高一个数量级。这种混合机由于在混合机腔内没有工作介质，实际上也是属于干混合机。目前，这种气冷式直排大气罗茨混合机及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。

　　5、分子混合机
　　分子混合机在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温混合机，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩 复合分子混合机和牵引混合机作为主混合机。
　　由于分子混合机对水蒸气的抽速仅为同口径低温混合机抽速的四分之一，所以分子混合机的排气时间比低温混合机长。为了提高抽速，国外在分子混合机的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子混合机，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子混合机抽走。这种低温分子混合机在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子混合机应该是我国真空混合机制造业发展的重点。首先，分子混合机要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子混合机、牵引混合机和低温分子混合机，以满足不同场合的需要。

　　6、干混合机
　　国外干混合机市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空混合机代替油封式机械混合机，欧美半导体行业45％以上用干式真空混合机代替了油封式机械混合机，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空混合机、多级爪式真空混合机、螺杆式真空混合机、涡旋式真空混合机、往复式活塞真空混合机以及涡轮式无油真空混合机等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干混合机的应用还不足1％，国内半导体工业用的干混合机全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干混合机，使干混合机成为我国真空工业新的经济增长点。